Baru-baru ini, Institut Mikrosystem Shanghai dan Teknologi Maklumat Akademi Sains Cina telah membangunkan MEMS berprestasi tinggi yang mencerminkan cermin dengan sensor sudut bersepadu. Cermin mempunyai saiz yang besar, jumlah pakej kecil, prestasi yang sangat baik, dan potensi besar dalam komunikasi satelit laser.
Cermin cepat mencerminkan hampir lima tahun untuk berkembang. Ia mengamalkan integrasi heterogen dua lapisan dan teknologi ikatan wafer, dan jumlahnya hanya saiz duit syiling 1- yuan.
Ia mengatasi kesesakan teknikal cermin tradisional mekanikal yang mencerminkan cermin dan MEMS asal mencerminkan cermin, mewujudkan produk gred ruang dengan ketepatan penunjuk μrad, memenuhi petunjuk prestasi ultra tinggi aplikasi-aplikasi satelit.
Diilhamkan oleh skrin telefon bimbit, pasukan menggunakan prinsip ketegangan silikon piezoresistif untuk mengintegrasikan sensor sudut cip, dan melalui inovasi struktur, sensitiviti meningkat sebanyak 63%, mengoptimumkan ketepatan kawalan rasuk.
Hasil ujian menunjukkan bahawa pada kekerapan tertentu, ketepatan sudut memenuhi standard, dan ubah bentuk permukaan dinamik maksimum hanya 2 nanometer.
Pegawai itu membuat analogi, yang bersamaan dengan semua ups dan downs pada cermin saiz padang bola sepak yang tidak melebihi diameter rambut, memenuhi keperluan ketat komunikasi laser satelit jarak jauh di permukaan cermin.
