Laser adalah salah satu ciptaan utama Sains semulajadi abad kedua puluh. Pada tahun 1960, laser pertama telah dihasilkan di dunia. Seterusnya, laser dengan konsisten baik, sudut musuh yang kecil dan tumpuan tenaga tinggi mempunyai telah digunakan secara meluas dalam pelbagai bidang, seperti laser bermula, laser pemprosesan dan komunikasi laser. Pada awal 1980-an, orang mula menggunakan gelombang-gelombang laser bertenaga tinggi untuk menerangi permukaan bahan kerja, menyebabkan permukaan kotoran, karat atau salutan untuk serta-merta evaporate atau kupasan, dan berkesan keluarkan lampiran atau lapisan atas permukaan yang objek pada kelajuan yang tinggi. Proses pembersihan permukaan bahan agak laser yang kering. Sejak sepuluh tahun lepas, laser kering telah berpindah dari makmal ke aplikasi praktikal, digunakan dalam pelbagai getah produk acuan, acuan silikon produk untuk menghilangkan minyak, karat, budaya peninggalan, papan litar Mikroelektronik dan bahan-bahan lain yang kering, dan mencapai faedah ekonomi dan sosial yang sangat baik.
Pada pertengahan-1980an, untuk memenuhi keperluan pengeluaran perindustrian untuk mengeluarkan zarah-zarah yang kecil pada template memori, laser pembersihan telah menerima perhatian meluas dan penyelidikan dan telah diiktiraf secara rasmi sebagai satu kaedah pembersihan yang berkesan yang mempunyai penyelidik cuba untuk menggunakan. Kaedah pembersihan konvensional seperti kering mekanikal, kimia kering dan kering ultrasonik untuk mengeluarkan zarah-zarah submicron yang melekat pada template adalah kurang sesuai. Sejak penjerapan dalam tentera zarah pada template (daya van der Waals, berkuat-kuasa elektrostatik, dll) adalah agak menakjubkan, seperti zarah-zarah saiz μm 1 pasukan penjerapan atas permukaan template adalah kira-kira 106 times bahawa graviti dan mekanikal Kaedah pembersihan tidak dapat dilengkapkan. Penyingkiran daripada zarah kecil, pembersihan kimia boleh membawa kepada hakisan dan recontamination template. Ultrasonik kering memerlukan template untuk diletakkan di Pusat gegaran sonic, yang akan menyebabkan template untuk pecah. Laser kering dihasilkan dalam keadaan sedemikian. Dalam kes ini, orang sudah mula belajar secara sistematik: penampilan telah menyelesaikan masalah pencemaran di permukaan template, dan dengan perkembangan kering teknologi laser, ia telah juga telah digunakan secara meluas dalam banyak bidang lain.
Di akhir 1980-an, saintis mendapati bahawa meliputi permukaan substrat dengan bantuan lapisan cecair adalah lebih sesuai untuk penyingkiran mencemarkan zarah. Antaranya, air adalah apa-apa yang berkesan bantuan lapisan. Kaedah meliputi permukaan artikel untuk dibersihkan dengan cecair filem yang mempunyai ketebalan perintah millimeter tingginya dan kemudian penyinaran dengan laser untuk membuang zarah-zarah yang tercemar ialah apa kita kemudian panggil wap kering (basah) laser, berbanding dengan yang jenis kering. Laser yang kering, laser wap kering mempunyai kecekapan pembersihan yang lebih tinggi. Hal itu tidak sampai awal 1990-an yang kering laser benar-benar telah memasukkan pengeluaran perindustrian. Malah, hampir pada tahun 1987, tiga Kumpulan Penyelidikan secara berasingan menemui kesan pembersihan laser. Antaranya, Kumpulan penyelidik diketuai oleh Zapka mendapat paten pertama di laser kering dan diiktiraf prospeknya permohonan dalam industri. Kumpulan penyelidikan yang lain adalah di Max Planck Institute for Bio kimia dan fizik di Toku, saintis template silikon dipenuhi zarah emas yang mempunyai saiz 35 nm, dan kemudian laser molekul nitrogen adalah terus irradiated ke permukaan pepejal, dan sebagai hasilnya, zarah emas di permukaan yang berjaya dihapuskan, manakala silikon template yang tidak rosak, menunjukkan bahawa laser digunakan untuk membersihkan permukaan pepejal. Zarah-zarah yang tercemar akan dilaksanakan.
Pada tahun 2001, Fourrier dan usahasama yang dilakukan laser wap kering Uji Kaji ke atas zarah pelbagai bentuk, saiz dan bahan-bahan untuk mencari keamatan laser diperlukan untuk zarah-zarah yang berbeza dalam lingkungan puluhan hingga ratusan nanometers. Di ambang adalah sama. Ini "ambang meluas konsisten" memberikan sokongan yang lebih baik untuk kegunaan industri pembersihan laser wap untuk mengeluarkan zarah-zarah kecil micron. Walaupun pembangunan laser kering adalah berdasarkan pembersihan zarah-zarah pepejal yang kecil di permukaan, kajian ke atas aplikasi lain telah dilaksanakan dengan sewajarnya. Sebagai contoh, pada 1970-an, selepas penyelidikan dan Uji Kaji, didapati bahawa laser akan membersihkan bangunan bersejarah dan karya seni. Ada kemungkinan. Pada tahun 1992, UNESCO telah berjaya digunakan laser kering untuk membaiki Yasmin Cathedral di England. Beberapa negara di Eropah juga telah dibersihkan laser Cathedral Amiens (Perancis), St. Stephan's Cathedral (Vienna, Austria), Makam askar yang tidak dikenali (Warsaw, Poland). Penggunaan laser dalam menanggalkan juga telah menarik perhatian penyelidik. Woodroffe et al. di Amerika Syarikat telah melakukan banyak kerja dalam bidang ini.
Pada 1990-an, para penyelidik di Jerman dan Jepun membangunkan berkuasa tinggi teh-CO2 laser bagi menanggalkan cat laser, dan menggunakan mereka untuk melakukan beberapa siri ujikaji. Hal itu tidak sampai tahun 2005 bahawa penyelidik menerbitkan kertas di stripping pesawat menggunakan berkuasa tinggi teh-CO2 laser. Saintis dari pelbagai negara juga telah membuat banyak penyelidikan atas permohonan acuan tayar, rawatan permukaan, sampah ruang dan aspek-aspek lain, dan mencapai keputusan yang luar biasa.
